温度調節機器製品
水・不活性液の温度調節
■ 超純水加熱装置（25℃〜85℃）
シリコンウェハ・液晶用ガラス基板の超純水洗浄用としてユースポイントに最適な温水供給装置
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薬液の温度調節
■ ケミカルサーキュレータ（15℃〜50℃）
金属イオンの溶出汚染がないインライン型冷却加熱器により、ウェットプロセスに欠かせない直接循環式薬液恒温装置
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■ ケミカルヒータ（25℃〜80℃）
金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置
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■ CSヒータ（50℃〜150℃）
クリーン・安全・小型・効率をコンセプトとしたインライン型薬液間接加熱装置
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気体の温度・温度調節
■ 電子除湿器
環境汚染ガス分析装置のサンプルガス採取部にて、水分を除去または一定量に保つために不可欠となっている、電子冷却式除湿器
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