温調機器製品

水・不活性液の温度調節

■ 超純水加熱装置(25℃〜85℃)

超純水加熱装置(25℃〜85℃)
シリコンウェハ・液晶用ガラス基板の超純水洗浄用としてユースポイントに最適な温水供給装置
カタログダウンロード(PDF:260KB)

薬液の温度調節

■ ケミカルサーキュレータ(15℃〜50℃)

ケミカルサーキュレータ(15℃〜50℃)
金属イオンの溶出汚染がないインライン型冷却加熱器により、ウェットプロセスに欠かせない直接循環式薬液恒温装置
カタログダウンロード(PDF:272KB)

■ ケミカルヒータ(25℃〜80℃)

ケミカルヒータ(25℃〜80℃)
金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置
カタログダウンロード(PDF:486KB)

■ CSヒータ(50℃〜150℃)

CSヒータ(50℃〜150℃)
クリーン・安全・小型・効率をコンセプトとしたインライン型薬液間接加熱装置
カタログダウンロード(PDF:555KB)

気体の温度・温度制御

■ 電子除湿器

電子除湿器
環境汚染ガス分析装置のサンプルガス採取部にて、水分を除去または一定量に保つために不可欠となっている、電子冷却式除湿器
カタログダウンロード(PDF:179KB)